[发明专利]一种低真空团簇及重离子束流射频环形电极组聚焦系统在审
| 申请号： | 202210191897.5 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114401580A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 邵玮 | 申请（专利权）人： | 江苏蚩煜科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H15/00 | 分类号： | H05H15/00 |
| 代理公司： | 南通启佑专利商标代理事务所(普通合伙) 32637 | 代理人： | 马晓武 |
| 地址： | 226001 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低真空团簇及重离子束流射频环形电极组聚焦系统，包括固定座板，所述固定座板上沿其轴向设有若干结构固定件，所述固定座板沿结构固定件轴向向外等距间隔设置若干射频电极板，所述固定座板上开设有入口，射频电极板的内侧开设有通孔，每相邻两个所述射频电极板之间连接有一个电阻器，沿射频电极板叠加方向上每单数序射频电极板之间及每双数序射频电机板之间均连接一个高压瓷片电容并并联，所述固定座板上还设有真空腔体，此低真空团簇及重离子束流射频环形电极组聚焦系统，对真空的适应范围较强，最高至100 Pa，对重离子的适应较强，对荷质比大于3000 Da的离子优化设计，通过率超过73.5%，采用特殊材料。在低真空下防止形成等离激元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子束 射频 环形 电极 聚焦 系统 | ||
【主权项】：
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