[发明专利]一种可控厚度的卯榫结构纳米孔的制备方法有效

专利信息
申请号: 202210193792.3 申请日: 2022-02-28
公开(公告)号: CN114572931B 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 张小玲;王德强;刘业香;何石轩;谢婉谊;方绍熙;殷博华 申请(专利权)人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00;C12Q1/6869;B82Y40/00;B82Y15/00
代理公司: 北京汉迪信和知识产权代理事务所(普通合伙) 16085 代理人: 赵景焕
地址: 400714 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明提供了一种可控厚度的卯榫结构纳米孔的制备方法,其制备的可控厚度的卯榫结构纳米孔为基于近零厚度纳米孔的卯榫结构纳米孔,其包括上下两个垂直的纳米通道和中间一个纳米孔,所述可控厚度的卯榫结构纳米孔通过二氟化氙XeF2刻蚀上下两层硅纳米线形成两个垂直的纳米通道。本发明可控厚度的卯榫结构纳米孔通过调节中间纳米孔的厚度可以调节该纳米孔的空间分辨率;通过增加上下两层纳米通道的厚度,提高了纳米孔的信噪比和稳定性。
搜索关键词: 一种 可控 厚度 卯榫 结构 纳米 制备 方法
【主权项】:
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