[发明专利]一种可控厚度的卯榫结构纳米孔的制备方法有效
申请号: | 202210193792.3 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN114572931B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 张小玲;王德强;刘业香;何石轩;谢婉谊;方绍熙;殷博华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00;C12Q1/6869;B82Y40/00;B82Y15/00 |
代理公司: | 北京汉迪信和知识产权代理事务所(普通合伙) 16085 | 代理人: | 赵景焕 |
地址: | 400714 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: |
本发明提供了一种可控厚度的卯榫结构纳米孔的制备方法,其制备的可控厚度的卯榫结构纳米孔为基于近零厚度纳米孔的卯榫结构纳米孔,其包括上下两个垂直的纳米通道和中间一个纳米孔,所述可控厚度的卯榫结构纳米孔通过二氟化氙XeF |
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搜索关键词: | 一种 可控 厚度 卯榫 结构 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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