[发明专利]一种基于空间对称性破缺二维材料能谷极化电流的调制方法在审

专利信息
申请号: 202210197027.9 申请日: 2022-03-01
公开(公告)号: CN114582727A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 刘富才;尹辉东 申请(专利权)人: 电子科技大学;电子科技大学长三角研究院(湖州)
主分类号: H01L21/428 分类号: H01L21/428;H01L21/34;H01L29/10;H01L29/24;H01L29/78;C30B25/02;C30B29/46;C30B29/64
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 叶盛
地址: 610000 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于空间对称性破缺二维材料能谷极化电流的调制方法,首先用空间对称性破缺二维材料构筑器件,包括两种类型:一种是从下至上分别为SiO2衬底、二维材料、源极电极和漏极电极;另一种是从下至少分别为SiO2衬底、底栅电极、底栅介电层、二维材料、源极电极和漏极电极、顶栅介电层、顶栅电极。本发明通过对二维材料层数的选择控制能谷极化电流极化大小,可以为能谷电子学的器件制备提供更易实现的方法,优于目前只能通过单层二维材料及其异质结的方式达到调控能谷极化的目的。
搜索关键词: 一种 基于 空间 对称性 二维 材料 极化 电流 调制 方法
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