[发明专利]长晶炉在审
| 申请号： | 202210197342.1 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN115216832A | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 廖思涵 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;王宇航 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种长晶炉，所述长晶炉的炉腔内具有位于坩埚上方的入气通道，上排气件具有相连通的流道及出气口，流道具有开放侧围绕入气通道，导流件与上排气件连接且设置于流道的开放侧，导流件上具有第一入气孔及至少两个第二入气孔，第一入气孔设置于远离出气口的一侧，一纵向参考面通过第一入气孔及出气口，导流件能以纵向参考面而区分为第一段及第二段，至少两个第二入气孔分别设置于第一段及第二段上，且第一入气孔的开口面积大于至少两个第二入气孔的开口面积；通过抽气装置将炉腔中的气体经导流件抽至上排气件的流道后排出炉腔。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
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