[发明专利]一种基于磁控溅射钙钛矿光吸收层的光伏器件的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210198608.4 申请日: 2022-03-02
公开(公告)号: CN114583064A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 罗派峰;孙甲;古寅生 申请(专利权)人: 合肥工业大学
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;H01L51/42;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58
代理公司: 合肥云道尔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34230 代理人: 陈兰
地址: 230000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种基于磁控溅射钙钛矿光吸收层的光伏器件的制备方法,所述方法包括以下步骤:(1)将FTO透明导电玻璃清洗、吹干;(2)在FTO透明导电玻璃上制备致密TiO2和SnO2电子传输层;(3)在所述电子传输层上采用磁控溅射技术制备钙钛矿光吸收层;(4)在所述的钙钛矿光吸收层上制备Spiro‑OMeTAD空穴传输层;(5)在所述空穴传输层上蒸镀Ag作为顶电极,即得到所述光伏器件。本发明制备的光伏器件光电转换效率达到13.09%,并表现出良好的长期稳定性。
搜索关键词: 一种 基于 磁控溅射 钙钛矿 光吸收 器件 制备 方法
【主权项】:
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