[发明专利]用于硅片表面高度测量的数字滤波装置及方法在审
| 申请号： | 202210200789.X | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114614796A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 裴雨多;齐月静;李璟;王丹;武志鹏;杨光华;陈进新;丁敏侠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03H17/06 | 分类号： | H03H17/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种用于硅片表面高度测量的数字滤波装置及方法，装置包括：获取模块，用于获取滤波参数和/或对所述滤波参数进行设置；滤波模块，用于根据所述滤波参数对硅片表面高度的测量信号进行数字滤波，以滤除低频噪声、高频噪声以及白噪声；控制模块，用于将所述测量信号输入至所述滤波模块以及控制所述滤波模块根据滤波参数对硅片表面高度的测量信号进行数字滤波。该数字滤波装置及方法可以提高测量信号质量，使硅片表面高度测量数值更加精确。并且，可以根据不同的工作环境对滤波参数进行设置，有效提高硅片表面高度测量精度，且可扩展性强，实现成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 表面 高度 测量 数字 滤波 装置 方法 | ||
【主权项】：
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