[发明专利]刻蚀终点检测方法及装置在审
| 申请号： | 202210203194.X | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114582699A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 常晓阳;王新河;林晓阳;赵巍胜 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 叶明川;董骁毅 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：通过电源调制信号对刻蚀电源信号进行调幅得到刻蚀调幅信号；获取光谱仪采集的基于等离子体刻蚀样品生成的光谱信号；其中，等离子体由刻蚀工艺系统基于刻蚀调幅信号加载生成；通过电源调制信号对光谱信号进行混频滤波处理；根据经过混频滤波处理的光谱信号检测刻蚀终点。本发明可以有效检测出不同膜层结构中所含有的元素成分，从而实现高精度的脉冲刻蚀终点检测及控制。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 终点 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京航空航天大学，未经北京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210203194.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种PSC和HIT的叠层太阳能电池
- 下一篇：一种家用智能近视防控系统
