[发明专利]一种钨靶材的镜面加工方法及其应用在审
| 申请号： | 202210203398.3 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN114536111A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;廖培君;沈学峰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B27/00;B24B21/00;G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种钨靶材的镜面加工方法及其应用，所述镜面加工方法包括依次进行的磨床预磨、砂带机抛光以及化学机械研磨抛光。所述机械加工方法可以将钨靶材表面加工成反射率高的镜面，使得钨靶材可以采用宏观腐蚀来监测其晶粒均匀性，替代边料小样监测的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钨靶材 加工 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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