[发明专利]点火方法和等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202210212618.9 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN115087186A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 小林健;安藤武;五十岚一将 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;王昊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够实现稳定的等离子体点火的点火方法和等离子体处理装置。该点火方法是在等离子体处理装置中的点火方法，上述等离子体处理装置包括：高频电源，其施加被控制为可变的频率的高频；等离子体生成部，其具有能够被施加上述高频的电极，从气体生成等离子体；和设置于上述高频电源与上述电极之间的匹配器，上述点火方法包括：从上述高频电源将第1频率的高频施加到上述电极，用上述等离子体生成部将等离子体点火的工序；和从上述高频电源施加上述第1频率的高频起经过规定时间后，施加与上述第1频率的高频不同的第2频率的高频。 | ||
| 搜索关键词： | 点火 方法 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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