[发明专利]一种4.2K以下高真空低温原子力显微镜光路系统在审
| 申请号： | 202210216589.3 | 申请日： | 2022-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN114578097A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 龚珍彬;张俊彦;郑清凯;高新晨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G02B27/30 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 曹向东 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种4.2K以下高真空低温原子力显微镜光路系统，该系统包括光纤激光准直光路系统、两套光学杠杆‑激光光路XY移动轴本体、光杠杆结构笼体、四象限探测器。两套所述光学杠杆‑激光光路XY移动轴本体上均设有安装孔总，其中一套所述光学杠杆‑激光光路XY移动轴本体的安装孔总内插有所述光纤激光准直光路系统，另一套所述光学杠杆‑激光光路XY移动轴本体的安装孔总内插有所述四象限探测器；所述光杠杆结构笼体的两侧分别与所述光学杠杆‑激光光路XY移动轴本体相连，该光杠杆结构笼体的下部设有探针夹持器，上部设有金属反射镜。本发明实现了原子力显微镜在真空和低温条件下的便利化使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 4.2 以下 真空 低温 原子 显微镜 系统 | ||
【主权项】：
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