[发明专利]一种基于VN的SNS约瑟夫森结及其制备方法在审
| 申请号： | 202210226254.X | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN114824054A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张露;陈垒;王镇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于VN的SNS约瑟夫森结及其制备方法，该基于VN的SNS约瑟夫森结的制备方法包括以下步骤，提供一衬底，采用直流反应磁控溅射于衬底上形成包括NbN底层膜、VN势垒层及NbN顶层膜的功能材料层，刻蚀功能材料层以形成包括底电极、VN结势垒层及顶电极的功能层，并形成覆盖功能层的显露表面及衬底的上表面的隔离层，于隔离层上形成第一接触孔及第二接触孔，并形成覆盖隔离层及填充第一接触孔与第二接触孔的配线层，刻蚀配线层以形成第一配线部及第二配线部。本发明通过采用直流反应磁控溅射方法形成低温下呈金属性的VN势垒层，以得到平整度高、成分稳定、电阻率稳定及均匀性好的VN结势垒层，提升约瑟夫森结的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 vn sns 约瑟夫 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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