[发明专利]一种柔性压电微加工超声换能器阵列设计与制备方法在审
| 申请号： | 202210227382.6 | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN114890376A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 蔡俊翔;罗智方;吴涛 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B06B1/06;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;柏子雵 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性压电微加工超声换能器阵列设计与制备方法，其特征在于，将N个柔性可塑型微超声换能器单元排列成阵列，相邻两个柔性可塑型微超声换能器单元由弯曲形状的互联结构连接在一起，该互联结构同时也是柔性可塑型微超声换能器单元之间互联的信号线，利用弯曲形状的互联结构，使得所述柔性压电微加工超声换能器阵列具有大幅度弯曲的功能。通过本发明提供的方法可以制备得到一种基于薄膜材料的柔性微机电系统(MEMS)超声换能器(MUT)阵列，其可用于低功耗的环境信号的检测和传感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压电 加工 超声 换能器 阵列 设计 制备 方法 | ||
【主权项】：
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