[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210229093.X | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114608727A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 许森 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 方世栋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了电容式压力传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，包括第一电极和第二电极，第二电极为在第一电极上悬空后形成的膜层，第一电极与膜层之间隔开，形成双层硅结构的电容式压力传感器；本发明的电容式压力传感器的制备方法，在硅迁移后的悬空后形成的膜层上进行绝缘的处理，通过利用于PN结的绝缘性在单片硅片上形成第一电极、第二电极以及一个绝缘的腔体，构成特殊结构的两层硅作为压力传感器，简化了传统的电容式压力传感器的制备工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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