[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 202210229246.0 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114339507B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 闾新明;徐希锐 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风及其制造方法，在振膜的锚区固定部的内边缘或振动部的外边缘上形成防接触部，该防接触部包括限位凸起、限位柱和限位挡板中的至少一种，能够有效防止由于振膜的振动部在振动时与锚区固定部发生卡位或搭接的问题，提高器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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