[发明专利]一种电子抽取型续流二极管器件及其制备方法有效
申请号: | 202210229795.8 | 申请日: | 2022-03-10 |
公开(公告)号: | CN114300543B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 冯浩;刘永;单建安 | 申请(专利权)人: | 安建科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L27/07;H01L29/06;H01L21/329 |
代理公司: | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人: | 袁燕清 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新安街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种电子抽取型续流二极管器件及其制备方法,本发明涉及一种功率半导体器件,通过在N型漂移区上还设置一个以上用于增加电子抽取通路密度的第一结构,第一结构包括有轻掺杂P型基区及设于轻掺杂P型基区上方的重掺杂N型发射区、P型沟槽阳极区及设于P型沟槽阳极区上的沟槽区,重掺杂N型发射区、轻掺杂P型基区和N型漂移区构成穿通型NPN三极管结构,所述的N型漂移区、P型平面阳极区和P型沟槽阳极区形成JFET结构,所述P型平面阳极区和P型沟槽阳极区与阳极电极)形成肖特基接触,所述重掺杂P型欧姆接触区与阳极电极形成欧姆接触;穿通NPN三极管势垒高度调整范围广,可增大对反向恢复又软又快的调整幅度等有益效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 抽取 型续流 二极管 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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