[发明专利]一种微小间隙非接触测量调控装置及方法有效
| 申请号： | 202210236630.3 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114563981B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 马伟皓;侯溪;李佳慧;张云;陈强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G05B19/401 | 分类号： | G05B19/401;B23Q17/22;B23Q17/24;G01B11/14;G01B17/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 金怡 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种微小间隙非接触测量调控装置及方法，用于实现超精密制造过程中微小间隙的非接触测量以及加工工具和待加工元件之间的距离调控。装置包括：加工工具、标定物、机床本体、非接触式位移传感器、传感器工装、待加工元件、导轨、传感器电源、传感器控制器、导轨电源、导轨控制器、计算机控制系统。计算机控制系统通过控制器和电源与导轨和位移传感器相连，通过调控导轨和位移传感器的运动实现对加工工具和待加工元件之间的微小距离的测量与调控。本发明为超精密制造过程中，准确测量并且调控加工工具与待加工元件的间隙提供了一种有效的低成本的测量与调控手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微小 间隙 接触 测量 调控 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210236630.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
