[发明专利]一种MEMS结构在审
| 申请号： | 202210236891.5 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN116320939A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;H04R7/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且所述压电复合振动层包括具有固定端和自由端的悬臂梁，所述固定端连接所述衬底，所述自由端悬置在所述空腔上方；柔性膜，形成在所述压电复合振动层上方并且覆盖所述空腔。该在MEMS结构中，施加于MEMS结构的电信号使悬臂梁振动变形，从而带动柔性膜振动向外辐射声压，减小漏声并且不过多限制悬臂梁位移，从而产生较大位移，输出较高的声压级信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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