[发明专利]基于三维开尔文探针力显微镜的三维结构表面测量方法在审
| 申请号： | 202210237617.X | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114624471A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 谢晖;张号;耿俊媛 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01Q60/26 | 分类号： | G01Q60/26;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于三维开尔文探针力显微镜的三维结构表面测量方法，属于物体表面物理特性表征技术领域。本发明针对现有测量方法只能对待测样品的水平表面进行性能表征，无法实现样品整体三维表面形貌和三维表面电势同步测量的问题。包括：对正交探针实施一阶弯曲共振频率下的机械激励，并逐渐接近待测三维样品，直到弯曲振幅衰减到机械激励振幅设定值；记录当前测试点的三维坐标值；在正交探针与待测三维样品之间施加预设频率的直流补偿电激励信号，获得关系曲线；选取电激励频率下的振幅设定值；再调节电激励信号，使正交探针的弯曲振幅等于电激励振幅设定值；记录接触电势差；逐点测试完成表面测量。本发明实现了对样品表面形貌和局部表面电势的同时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 三维 开尔文 探针 显微镜 结构 表面 测量方法 | ||
【主权项】：
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