[发明专利]一种真空系统的气体分子富集装置及方法在审
| 申请号： | 202210239345.7 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN116773283A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 时剑文;郝猛;李赏 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 林韵英 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供的一种真空系统的气体分子富集装置及方法，属于气体检测技术领域，真空系统的气体分子富集装置包括：过渡腔室，适于与工艺腔室连通；所述工艺腔室内至少具有两种分子量不同的工艺气体；检测腔室，适于与工艺腔室连通；所述检测腔室和所述过渡腔室通过连通管路连通；所述连通管路上设置有抽气动力组件；所述检测腔室适于与检测设备连通；毛细管路，两端分别与所述过渡腔室和所述检测腔室；所述毛细管路对不同分子量的工艺气体具有不同的流阻；本发明的真空系统的气体分子富集装置，本富集装置的富集过程只依靠设备对气体分子的物理作用，不需要产生化学反应，快速稳定无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 气体 分子 富集 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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