[发明专利]一种MEMS麦克风芯片及其制备方法、MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202210243891.8 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN114339557B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;王志宏;张瑞珍 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00;H04R7/16 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孔凡红 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种MEMS麦克风芯片及其制备方法、MEMS麦克风，MEMS麦克风芯片包括具有背腔的基底以及位于基底一侧的压电振膜，压电振膜在基底上的正投影覆盖背腔；压电振膜包括主振膜和至少两个辅振膜，沿平行于基底的方向，主振膜与辅振膜之间具有间隙；主振膜包括主体部和至少两个第一固定端，第一固定端位于相邻两个辅振膜之间，主体部连接各个第一固定端，且悬置于背腔上；至少主振膜用于将入射声压转化为电压信号。本发明实施例的技术方案可以在不增大MEMS麦克风芯片的尺寸的情况下，提高MEMS麦克风的灵敏度并展宽其频率响应范围，有利于MEMS麦克风芯片的小型化设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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