[发明专利]一种石墨烯熔丝器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯的新型熔丝器件及其制备方法。本发明基于石墨烯的新型熔丝在传统的两端熔丝基础上，增加一个垂直的金属栅形成三端结构，通过金属栅到沟道的隧穿电流来烧断沟道。利用电子束曝光和lift‑off工艺实现熔丝存储器件的制备，工艺简单，可实现大面积器件制备并节约工艺成本。本发明提供的石墨烯熔丝器件可将编程电压降低到4V左右，同时可降低编程电流，实现温和低功耗。