[发明专利]一种抑制振动干扰的热式声矢量传感器及其实现方法有效
| 申请号： | 202210248823.0 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN114674416B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈旺楠;朱哲政;杨凌濛;杨振川;高成臣;郝一龙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抑制振动干扰的热式声矢量传感器及其实现方法。本发明在加热梁和两根声音敏感梁的外侧又集成两根振动敏感梁，作为振动信号的敏感结构，形成五线式结构；声音敏感梁距离加热梁较近，而且宽度更窄，因此截止频率较高，对高频声音信号的灵敏度更大；相反，振动敏感梁距离加热梁较远，而且宽度更宽，因此截止频率较低，对低频振动信号灵敏度更大；利用不同间距的声音敏感梁和振动敏感梁对声音和振动信号灵敏度不同的特点，将输出信号进行差分运算，完成对干扰的振动信号解耦；本发明抑制了热式声矢量传感器工作环境中可能存在的振动干扰的问题，输出信号已经没有振动信号，振动干扰对热式声矢量传感器的输出灵敏度影响很小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 振动 干扰 热式声 矢量 传感器 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
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