[发明专利]一种二氧化钛透明导电玻璃及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210256025.2 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114694895A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 潘锋;梁军 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14;C03C17/245 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 李小焦;彭家恩 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种二氧化钛透明导电玻璃及其制备方法和应用。本申请的二氧化钛透明导电玻璃制备方法包括，先在无定形衬底上制备锐钛矿相微晶层，然后在锐钛矿相微晶层上以沉积速率为0.1～500nm/min的速度高速磁控溅射二氧化钛薄膜，最后进行退火处理使薄膜结晶，得到锐钛矿相(004)取向的二氧化钛薄膜，即形成二氧化钛透明导电玻璃。本申请的二氧化钛透明导电玻璃制备方法，通过预先制备锐钛矿相微晶层，能够快速、高效的溅射二氧化钛薄膜，缩短了生产周期，提高了生产效率。并且，本申请的制备方法可以调控锐钛矿相(004)择优取向程度，以满足不同的使用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 透明 导电 玻璃 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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