[发明专利]一种耐高温氧化、自润滑的多层涂层刀具及其制备方法

摘要

本发明提供一种耐高温氧化、自润滑的多层涂层刀具及其制备方法，包括基体和采用化学气相沉积(CVD)方法沉积在基体表面的多层涂层，所述多层涂层包括第一子涂层TiaAlbSicN(a+b+c＝1，0a≤0.15，0.65≤b≤0.80，0.05≤c≤0.20)和第二子涂层TihAliSijOkN1‑k(h+i+j＝1，0h≤0.20，0.50≤i≤0.70，0.05≤j≤0.20，0.20≤k≤0.80)，以及设置在所述第一子涂层和所述第二子涂层之间的、氧含量由低到高梯度变化的梯度层Ti‑Al‑Si‑O‑N，且所述梯度层中最高氧含量不高于所述第二子涂层的氧含量。本发明的目的在于提供一种具有耐高温氧化性能，能自润滑的、高硬度和高结合强度的涂层刀具及其制备方法。