[发明专利]一种补偿侧向位移式微镜及调控方法有效
| 申请号： | 202210269726.X | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114660800B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 徐立新;汤跃;谢会开 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;北京理工大学重庆微电子中心 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B27/64;G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种补偿侧向位移式微镜及调控方法，属于微纳光学领域。本发明通过优化补偿驱动器以补偿微镜侧向位移，避免表面光斑偏离微镜镜面，避免微镜失去操控光束的能力；因此，消除侧向位移能够避免或减小微镜的光功率损失。驱动器采用对称式阵列式结构，在增强驱动能力的同时，能够产生对称式的作用力分布，提高微镜的稳定性，同时能够增强微镜对光束的操控能力，避免微镜工作失效。采用V‑型驱动器，是补偿微镜侧向位移的另一种方式，本发明通过优化V‑型驱动器和微镜框架之间的连接，以平衡微镜两侧因作用力不稳定带来的抖动，同时阵列式的V‑型臂能够增强器件的刚度，避免微镜受到干扰，同时能够增强微镜对光束的操控能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 补偿 侧向 位移 式微 调控 方法 | ||
【主权项】：
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