[发明专利]一种确定位置偏差的方法及系统在审
| 申请号： | 202210271247.1 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114649244A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 崔洁;罗杨;牛岩;王家林;祁雪飞 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 高燕 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种确定位置偏差的方法及系统，其中，该方法包括：获取被传送物体对应的第一光电数据和第二光电数据；将第一光电数据带入对应的第一数学模型得到实际横坐标值，将第二光电数据带入对应的第二数学模型得到实际纵坐标值；将实际横坐标值与标准横坐标值作差得到横坐标偏差，将实际纵坐标值与标准纵坐标值作差得到纵坐标偏差；将横坐标偏差和纵坐标偏差作为被传送物体的位置偏差。本申请通过将第一光电数据和第二光电数据分别带入对应的第一数学模型和第二数学模型，确定传送机构的实际横坐标值和实际纵坐标值，进而确定横坐标偏差和纵坐标偏差，解决了无法确定被传送物体的位置偏差的技术问题，达到了提高传送准确性的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 确定 位置 偏差 方法 系统 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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