[发明专利]基于外场增强的飞秒激光诱导击穿光谱深度检测系统在审
| 申请号： | 202210272975.4 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114674808A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;许昭;王素梅;詹洁;陈治成 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 王松 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种外场增强飞秒激光诱导击穿光谱用于深度检测的方法，属于飞秒激光应用技术领域。具体涉及一种利用火花放电与微波增强飞秒激光激发等离子体发射强度，进而提高等离子体光谱的深度检测极限与元素分辨率的方法。通过将连接直流高压电源的针状电极与连接微波发生器的锥形天线固定在样品附近，在飞秒激光通过平凸透镜聚焦在样品的加工位置处，火花放电与脉冲微波使得样品局部形成了强烈的电磁脉冲，等离子体通过电磁波耦合从中吸收能量，造成等离子体密度、温度显著增加，从而提高了等离子体发光光谱的强度与信噪比，最终提高了LIBS方法用于深孔加工中元素检测的深度检测极限与元素分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 外场 增强 激光 诱导 击穿 光谱 深度 检测 系统 | ||
【主权项】：
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