[发明专利]静电吸盘和基板固定装置在审

专利信息
申请号: 202210273128.X 申请日: 2022-03-18
公开(公告)号: CN115132637A 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 村松佑亮;竹元启一;原山洋一 申请(专利权)人: 新光电气工业株式会社
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 龙涛峰;顾红霞
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种静电吸盘和基板固定装置,该静电吸盘包括:基体,其具有安装待吸附对象的安装面以及与安装面相反的背面;隔绝层,其形成在背面上;加热元件,其内置于隔绝层中并且构造成产生热量;以及至少一个热扩散层,其内置于基体中并且构造成扩散由加热元件产生的热量。至少一个热扩散层由热导率高于基体的热导率的材料形成。
搜索关键词: 静电 吸盘 固定 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新光电气工业株式会社,未经新光电气工业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210273128.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top