[发明专利]一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法在审
| 申请号： | 202210273845.2 | 申请日： | 2022-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN114719741A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 卢乾波;冯文露;刘诚修;肖清雄;王逸男;王小旭 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学;西北工业大学宁波研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人： | 云燕春 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法，属于光学干涉检测领域；包括沿光路依次设置的测试光路、衍射光路和移相光路；所述测试光路包括沿光路依次设置的He‑Ne激光器、线偏振片、二分之一波片、第一四分之一波片、扩束镜和待测样品，用于获得待测信息；所述衍射光路包括沿光路依次设置的缩束镜、高倍物镜、针孔线偏振点衍射板和第一成像透镜，用于获得参考光与被测光；所述移相光路包括沿光路依次设置的第二四分之一波片、第二成像透镜和阵列式偏振相机，用于实现参考光与被测光之间的空间移相，同时形成四幅干涉图像。本发明测量精度高，结构紧凑，抗干扰性好，可实现动态面型的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共光路 偏振 衍射 同步 相干 系统 方法 | ||
【主权项】：
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