[发明专利]一种多维度图案化硅基纳米草制备方法及其应用在审
| 申请号： | 202210274651.4 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114620675A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 徐天彤;李海旺;方卫东;陶智;吴瀚枭;聂芃芃;李沐润 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京君有知识产权代理事务所(普通合伙) 11630 | 代理人： | 焦丽雅 |
| 地址： | 100083 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 多维度图案化硅基纳米草制备方法及其应用，包括金属辅助化学刻蚀硅基纳米草系列实验及参数设计；电场/电流辅助下多维度复杂结构表面上硅基纳米草的制备；基于光刻掩膜工艺的图案化硅基纳米草。本发明研究了金属辅助化学刻蚀硅基纳米草中的各项参数，为之后不同应用场景中工艺参数的选择提供了重要的参考依据；采用了电场/电流的辅助方法，设计了专用电流/电场下金属辅助化学刻蚀的实验平台，克服了传统制备方法中对重力的依赖性以及横向刻蚀的不可控性，实现了多维度复杂结构表面的硅基纳米草湿法可控制备技术；采用图案化掩膜方案，结合前期光刻及湿法工艺制备图案化掩膜，阻隔掩膜部分刻蚀反应的进行，实现硅基纳米草的图案化选择性刻蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多维 图案 化硅基 纳米 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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