[发明专利]一种靶材的喷砂方法有效
| 申请号： | 202210282242.9 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114714257B | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;胡全 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C11/00;B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种靶材的喷砂方法，所述喷砂方法包括如下步骤：(1)对靶材的非溅射面进行第一喷砂处理，得到第一喷砂面；(2)第一喷砂面表面覆盖保护层，进行第二喷砂处理，得到第二喷砂面；(3)升温去除第二喷砂面表面的保护层，保持温度进行压缩气体吹扫，得到具有干燥喷砂面的靶材；步骤(2)所述保护层的材质包括铟和/或锡。本发明通过第一喷砂处理之后设置材质包括铟和/或锡的保护层，不仅能够实现对靶材非溅射面的喷砂处理，还能最大程度降低喷砂面清洗后的氧化风险，提高喷砂质量，生产合格率能够达到99％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥江丰电子材料有限公司，未经合肥江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210282242.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
