[发明专利]一种钪酸铋-钛酸钡基核壳结构铁电薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供一种钪酸铋‑钛酸钡基核壳结构铁电薄膜及其制备方法，属于电子材料与元器件领域。本发明采用溶胶‑凝胶制备工艺，将(1‑x)BaTiO3‑xBiScO3前驱体溶液旋涂在衬底材料上面，得到湿膜；制得的湿膜经干燥、热解、退火制得一层未完全晶化的(1‑x)BaTiO3‑xBiScO3薄膜；将等体积的BiReO3前驱体溶液旋涂在该未晶化的薄膜上面，干燥、热解、退火得(1‑x‑y)BaTiO3‑xBiScO3‑yBiReO3铁电薄膜；本发明可以通过掺杂和控制旋涂时间、旋涂速度、退火时间、退火温度，可以获得展宽的介电峰的同时还保持相对较高的介电常数。