[发明专利]超声换能器及其制造方法有效
申请号: | 202210309026.9 | 申请日: | 2022-03-25 |
公开(公告)号: | CN114682472B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 纪登鑫;沈健 | 申请(专利权)人: | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06;A61B8/00 |
代理公司: | 北京合智同创知识产权代理有限公司 11545 | 代理人: | 李杰 |
地址: | 518045 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种超声换能器及其制造方法。该超声换能器,包括:依次层叠设置的基底层(101),第一电极(104)、振膜层(102)、第二电极(105)、压电层(103),第三电极(106),其中,所述基底层(101)的靠近振膜层的一面上设置有凹槽,所述第一电极(104)填充于所述凹槽内,所述振膜层(102)上形成有空腔(107),所述空腔(107)与所述第一电极(104)的位置相对应。进一步提高了超声换能器件的接收灵敏度,解决了现有超声换能器接收灵敏度受到超声波发射层影响的问题。 | ||
搜索关键词: | 超声 换能器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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