[发明专利]一种基于MOCVD设备加热器的隔热板在审
| 申请号： | 202210318468.X | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114645262A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张洪国;唐继远;张海飞;王浩增;李正磊;房岩 | 申请（专利权）人： | 江苏鹏举半导体设备技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/458 |
| 代理公司： | 南通云创慧泉专利代理事务所(普通合伙) 32585 | 代理人： | 邵永永 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于MOCVD设备制造领域，提供了一种基于MOCVD设备加热器的隔热板，包括：载片盘，设置在所述载片盘下侧的加热器，以及设置在所述加热器底部的隔热层，所述加热器底部和所述隔热层之间设有隔热板机构；所述加热器底部设有加热器电极，所述加热器电极穿过所述隔热层和所述隔热板机构；所述隔热板机构由多个不同形状的隔热板拼装组成。在原机台隔热层上方新增一层隔热板机构，有利于生长工艺对温场的精密控制，大大提升产品良率，解决经高温烘烤后隔热层上翘形变、与加热器支架打火放电的异常，隔热层经隔热板机构保护，使用寿命延长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mocvd 设备 加热器 隔热板 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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