[发明专利]籽晶提拉装置和晶体生长设备有效
| 申请号： | 202210318943.3 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114836819B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏;周琳 | 申请（专利权）人： | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐章伟 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种籽晶提拉装置和晶体生长设备，籽晶提拉装置包括籽晶轴、籽晶夹持器、籽晶旋转升降机构和保持器，籽晶夹持器用于夹持籽晶，籽晶夹持器连接在籽晶轴的下端；籽晶旋转升降机构与籽晶轴的上端相连，用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿上下方向移动，籽晶的旋转轴线沿上下方向延伸；保持器位于籽晶轴的外周侧，保持器的上端与炉体相连，保持器的下端与籽晶夹持器相连，保持器在上下方向上的长度可变。根据本发明实施例的籽晶提拉装置，在拉制晶棒的过程中，可以使得籽晶夹持器稳定地上升和旋转，降低籽晶在炉体中产生震荡的震荡幅度或避免籽晶在炉体中发生震荡，保证拉制晶棒过程的稳定性，提高晶棒的生长品质。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶 装置 晶体生长 设备 | ||
【主权项】：
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