[发明专利]光源优化装置及光源优化方法在审
| 申请号： | 202210319439.5 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116931377A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吴东郁;廖俊谚;林宗玮;吴俊昇;黄兆义;李昱明;郭鸿飞 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 郑乐;刘芳 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种光源优化装置及光源优化方法，所述光源优化装置包括存储装置以及处理器。存储装置存储多个模块。处理器耦接存储装置，经配置以执行多个模块。多个模块包括关键图样模块以及光源优化模块。关键图样模块获取关键图样数据。光源优化模块根据预设参数执行蚁群优化算法调整初始光源图像而产生输出光源图像，初始光源图像对应于关键图样数据。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 优化 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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