[发明专利]一种钒钨合金靶材及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202210319915.3 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114540692B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;黄慧珍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C27/04 | 分类号： | C22C27/04;C22C1/04;B22F3/14;B22F9/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钒钨合金靶材及其制备方法与应用，以质量百分含量计，所述钒钨合金靶材的组分包括：钨≥60％，余量为钒；所述制备方法包括以下步骤：(1)按照配方量混合钒粉和钨粉，球磨后得到混合粉末；(2)将步骤(1)所得混合粉末进行烧结温度为1300‑1700℃，压制压力为60‑350T的真空热压烧结处理，得到钒钨合金靶坯；(3)将步骤(2)所得钒钨合金靶坯进行机加工，得到钒钨合金靶材；其中，步骤(2)所述真空热压烧结处理包括顺次进行的第一保温处理、第二保温处理与保温保压处理。所述发明通过优化烧结工艺改善了靶材内部组织结构，提高了靶材的纯度和致密度，进而提升了溅射稳定性和镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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