[发明专利]一种防碰撞控制方法有效
| 申请号： | 202210322608.0 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114589615B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 吴燕林;周庆亚;李嘉浪;张康;刘福强 | 申请（专利权）人： | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B55/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 穆瑞丹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体加工设备技术领域，其目的是提供一种防碰撞控制方法，监测扫描配方安全性时可靠性强、准确性高。上述的防碰撞控制方法包括：获取t |
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| 搜索关键词： | 一种 碰撞 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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