[发明专利]一种基于C面蓝宝石衬底的半极性锥形LED结构在审

专利信息
申请号: 202210322928.6 申请日: 2022-03-29
公开(公告)号: CN114784163A 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 王宇轩;黄永;陈兴;吴勇 申请(专利权)人: 西安电子科技大学芜湖研究院
主分类号: H01L33/24 分类号: H01L33/24;H01L33/32;H01L33/18;H01L33/06;H01L33/00
代理公司: 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 代理人: 房文亮
地址: 241000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种基于C面蓝宝石衬底的半极性锥形LED结构,涉及半导体技术领域,包括C面蓝宝石衬底、GaN成核层、非故意掺杂GaN层、n‑GaN层、InGaN/GaN超晶格前阱、InGaN/GaN多量子阱发光层、AlGaN/GaN超晶格电子阻挡层、p‑GaN层、反光层以及金属电极,本发明的结构中p型层与下部结构接触的表面积增加,从而提高了p型层的面积,增加了空穴注入量,进而增强了复合作用和发光效能,锥形顶角为一特定角度,使InGaN/GaN多量子阱发光层沿112面生长,降低了极化作用的影响,InGaN/GaN多量子阱发光层由于与空气界面接触面积更大,提高了光提取效率,样品生长更加均匀,提高了显色指数。
搜索关键词: 一种 基于 蓝宝石 衬底 极性 锥形 led 结构
【主权项】:
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