[发明专利]真空阀门及其闸板在审
申请号: | 202210324261.3 | 申请日: | 2022-03-29 |
公开(公告)号: | CN116928374A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 许俊树;林赐民;蔡智仁;陈冠祥 | 申请(专利权)人: | 日扬科技股份有限公司 |
主分类号: | F16K3/02 | 分类号: | F16K3/02;F16K3/314;F16K51/02 |
代理公司: | 北京思格颂知识产权代理有限公司 11635 | 代理人: | 潘珺 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种真空阀门及其闸板,闸板系移动式设在真空阀门之中空阀体中。闸板具有遮挡部,遮挡部之表面具有至少一扰流槽,其中闸板系借由扰流槽延长气体流动穿过中空阀体之流道之时间以降低气导值。 | ||
搜索关键词: | 真空 阀门 及其 闸板 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日扬科技股份有限公司,未经日扬科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210324261.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种双盖包装盒
- 下一篇:半导体结构、制作方法及半导体晶圆制作方法