[发明专利]约瑟夫森结制备方法及生产线设备在审
| 申请号： | 202210324371.X | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116940217A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 卜坤亮;张文龙;李登峰 | 申请（专利权）人： | 腾讯科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H10N60/01 | 分类号： | H10N60/01;H10N60/12;H10N60/80 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 李文静 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请关于一种约瑟夫森结制备方法及生产线设备，涉及微纳加工技术领域。该方法包括：在基底上制备包含底切结构的光刻胶膜层；底切结构包含第一条形开孔、第二条形开孔；以第一角度对光刻胶膜层进行倾斜于基底的蒸镀，以透过第一条形开孔在底切结构的基底上制备第一条形超导层；以第二角度对光刻胶膜层进行倾斜于基底的蒸镀，以透过第二条形开孔在底切结构的基底上制备第二条形超导层；第一条形超导层与第二条形超导层相互交叉；且第一条型超导层与第二条形超导层的相交处以氧化层相隔离，以构成约瑟夫森结。本方案不会带来其它的寄生结，从而提高了量子比特组件的相干性。 | ||
| 搜索关键词： | 约瑟夫 制备 方法 生产线 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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