[发明专利]一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202210326578.0 申请日: 2022-03-30
公开(公告)号: CN114560693B 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 李欣芮;何秋蔚;罗宇舟;刘来君;彭彪林;陈雪 申请(专利权)人: 南京卡巴卡电子科技有限公司
主分类号: C04B35/468 分类号: C04B35/468;C04B35/622;H01G4/12
代理公司: 南宁新途专利代理事务所(普通合伙) 45119 代理人: 但玉梅
地址: 211156 江苏省南京市江宁区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法,属于电子材料与元器件领域。该介质薄膜化学组成的化学通式为(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF,其中0.005≤x≤0.02,0.0025≤y≤0.03,y为质量分数,Re为La、Ce、Pr中的一种或两种元素。采用溶胶凝胶法制备,分别配制Ba1‑xRexTiO3和LiF前驱体溶液;通过分别旋涂、干燥、热解、退火、扩散,最终形成(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF固溶体。本发明通过掺杂,并在制备时调节退火温度、退火时间控制氟的挥发,从而获得温度稳定性好、耐击穿强度高的介电薄膜。
搜索关键词: 一种 氟化 改性 钛酸钡 介质 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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