[发明专利]一种飞秒激光在透明材料双面进行高尺寸精度刻型的方法在审
| 申请号： | 202210327516.1 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114888443A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;谭嘉宝;胡洁;牛旭时 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/50;B23K26/70;C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明设计了一种飞秒激光在透明材料双面进行高尺寸精度刻型的方法，属于激光应用领域。本发明将飞秒激光高斯光经过锥透镜，平凸和物镜产生长焦深贝塞尔光束，使用衰减轮和衰减片将锥透镜前的激光能量密度调整到待加工样品材料的烧蚀阈值的1.5倍至2倍,将样品放置于聚焦光场的焦深范围内，使激光垂直入射透过样品材料，自动寻焦后根据matlab计算的离焦量调整平移台高度，使样品上下表面到达matlab理论计算的激光透过样品后上下表面能量沉积相同的z坐标位置，在透明样品上激光直写改性加工出所要刻型的图案结构，保证了上下表面加工结构的尺寸精度。后续利用氢氟酸溶液对样品进行选择性刻蚀，实现透明材料双面高尺寸精度的刻型加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 透明 材料 双面 进行 尺寸 精度 方法 | ||
【主权项】：
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