[发明专利]SRP样品的制备方法、研磨装置及检测方法在审
| 申请号： | 202210328336.5 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114646521A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 裘莺;高强;季春葵 | 申请（专利权）人： | 上海季丰电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01R31/26;G01R27/02;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张萍 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种SRP样品的制备方法、研磨装置及检测方法，涉及半导体制备技术领域，SRP样品的制备时首先选取多个相同类型的初始SRP样品；然后按照预设磨片规格确定需制备的SRP样品区域，并根据SRP样品区域确定初始SRP样品的拼接方案；再按照拼接方案将初始SRP样品固定在硅片衬底上，将盖玻片覆盖在初始SRP样品上得到中间SRP样品；最后将中间SRP样品放置在满足预设磨片规格的研磨装置中进行研磨，得到满足预设磨片规格的SRP样品。该方法在针对小规格的SRP样品时，利用同类别的样品进行拼接完成SRP样品的制备，增加SRP样品的制样面积，使得拼接后的SRP样品具有足够的下针距离，提升了检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | srp 样品 制备 方法 研磨 装置 检测 | ||
【主权项】：
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