[发明专利]一种镀膜控制方法及系统在审
| 申请号： | 202210330655.X | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN116926480A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张晴晴;俞菲;汤宝;熊永华;胡强高 | 申请（专利权）人： | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种镀膜控制方法及系统，所述方法包括：基于镀膜参数进行镀膜处理；在镀膜过程中，获取镀膜材料上至少一个目标区域的监测参数；根据所述监测参数得到对应于所述至少一个目标区域的监测曲线；根据所述监测曲线和标准曲线，对所述镀膜参数进行实时调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉光迅科技股份有限公司，未经武汉光迅科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210330655.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
