[发明专利]差分电容式MEMS麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 202210332986.7 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116939453A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 冯栋 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 虞凌霄 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种差分电容式MEMS麦克风及其制造方法，所述麦克风包括：衬底，包括第二背板；第一支撑层，设于所述衬底上；振膜，设于所述第一支撑层上；第二支撑层，设于所述振膜上；第一背板，设于所述第二支撑层上，所述振膜位于所述第一背板和第二背板之间；其中，所述振膜和第一背板形成的第一电容用于输出第一电容值信号，所述振膜和第二背板形成的第二电容用于输出第二电容值信号，所述第一电容值信号和第二电容值信号构成差分信号。本发明利用衬底的一部分结构作为第二背板，因此第二背板本身不会造成麦克风的厚度增加。并且振膜与第一背板、第二背板形成的电容输出的电容信号构成差分信号，可以提高麦克风的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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