[发明专利]一种SiP工艺可靠性评估试验载体的特性表征方法在审
| 申请号： | 202210333444.1 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114818415A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 匡潜玮;张靓;谷瀚天;朱恒静;宁永成;丛山;王贺;张大宇;张科辉;庄仲 | 申请（专利权）人： | 中国空间技术研究院 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;H01L21/67;G06F119/02;G06F119/14 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 100194 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种SiP工艺可靠性评估试验载体的特性表征方法，通过PFMECA分析SiP产品的关键工艺，根据风险要素分析关键结构，从而确定试验载体的需要包含的工艺域，再基于失效物理方法或定性分析方法确定试验载体的特性表征参数数值，能够通过制造用于验证SiP生产工艺的试验载体，代替用于考核验证的SiP样品，以减少生产远大于需求量的SiP样品的花费，从而降低SiP产品的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sip 工艺 可靠性 评估 试验 载体 特性 表征 方法 | ||
【主权项】：
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