[发明专利]一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器在审
| 申请号： | 202210338243.0 | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN116930315A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王文;崔柏乐;薛蓄峰;程利娜;张玉凤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 张红生;杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括压电晶体(4)、加热电阻丝(3)、电气输入引脚(7)、电气输出引脚(8)、第一个叉指换能器(5)以及第二个叉指换能器(6)，在第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)的表面以及第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)中间的声传播路径上沉积温补介质薄膜(2)，在温补介质薄膜(2)表面沉积大面积气敏薄膜(1)。本发明可获得快速响应、高灵敏度、低温漂以及具有较高表面温度均匀性的声表面波气体传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 多层 薄膜 介质 表面波 气体 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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