[发明专利]一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器在审
| 申请号： | 202210338245.X | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN116930316A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王文;崔柏乐;薛蓄峰;程利娜;张玉凤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 张红生;杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括电气引脚(1)、金属基座(2)、电气引线(3)、声表面波器件(4)、保护薄膜(5)以及气敏薄膜(6)，气敏薄膜(6)包括蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜，蛇形气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器形状相同，块状气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器之间的声传播路径形状相同；蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜采用并联或串联的方式通过电气引线(3)连接电气引脚(1)。本发明能够有效增强气敏薄膜吸附特性，调节并控制器件温度以及表面温度分布，进而提高声表面波气体传感器响应速度、灵敏度以及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 薄膜 加热 表面波 气体 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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