[发明专利]一种待测物载具在审

专利信息
申请号: 202210338894.X 申请日: 2022-04-01
公开(公告)号: CN114839191A 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 文公立;卓文强;马梓万;朱朝军;张建城;王磊 申请(专利权)人: 厦门威芯泰科技有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 厦门龙格思汇知识产权代理有限公司 35251 代理人: 王黾勉
地址: 361000 福建省厦门市集*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种待测物载具,其包括基座和面盖,基座沿第一方向设有凸块和围绕凸块的真空槽,其还设有第一通道和第二通道,凸块设有用于承载待测物的承载面,第一通道供真空槽连通外接真空源,第二通道连通真空槽并开口于承载面;凸块和第二通道分别被配置为其在第一平面上的投影适于位于非检测区域内;真空槽被配置为第一检测区域适于位于其在第一平面上的投影内;第一通道被配置为其在第一平面上的投影位于待测物在第一平面上的投影外;面盖密封地盖设于真空槽上并与真空槽围合形成真空腔;真空槽和面盖于第一平面上投影与第一检测区域重合的部分被配置为适于供光线透射。防止面盖变形,防止待测物损坏。
搜索关键词: 一种 待测物载具
【主权项】:
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